为什么器件厂内都会配置 二氧化硫处置电子系统 ，因为器件研发 过程 之中使用的气态大多具有自燃、自燃性、水溶性等特性，尤其是在晶圆厂研发厂内之中的二氧化硫流一般而言内含水溶性和VOCS有机二氧